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玻璃基板行业使用超纯水的标准
时间:2023-10-17 作者:纯水一号
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在玻璃基板制造行业中,超纯水通常被广泛用于清洁和处理工艺。该设备也称为连续电去离子装置,简称EDI。杂质一般来说,超纯水在玻璃基板行业的应用需要达到以下标准:


电导率要求:电导率是衡量水质纯度的重要指标之一。对于玻璃基板行业来说,电导率必须非常低,一般在1—10μS/cm的范围内。


微生物的限制:由于玻璃基材对杂质非常敏感,因此要求超纯水中的微生物含量极低,一般要求不含细菌和有害微生物。


化学成分限制:不能含有对玻璃基板有害的化学成分,如重金属、有机物、溶解固体等。

颗粒物限制:在玻璃基板上留下颗粒或污渍的微小颗粒物不会留下。


pH值要求:超纯水的pH值通常要求为中性(接近7),不会对玻璃基板表面造成腐蚀或其他不良影响。


溶解氧含量要求:对于特定的工艺要求,超纯水中的溶解氧含量需要很低,以避免玻璃基板表面发生氧化反应。


纯度要求:超纯水要经过多次过滤、离子交换等净化步骤,以确保满足玻璃基板生产过程中的高纯度要求。


关键字: 玻璃基板
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