高纯水设备的原理主要是基于反渗透（RO）技术和离子交换技术。高纯水设备可除盐，水质可达10 -18.2 MΩ.cm。它的两个主要原理是反渗透和离子交换。

高纯水设备生产纯水的反渗透、离子交换原理：

反渗透技术：反渗透是一种通过半透膜分离物质的方法。在高纯水设备中，对水质进行预处理，如过滤、软化等，去除水中的悬浮物、颗粒和硬度物质。预处理后的水被送至反渗透膜组件，通过微孔结构，阻挡溶解的盐类、有机物、微生物等离子体和颗粒，并允许水分子通过。当施加反渗透压力时，高浓度溶质被推向低浓度一侧，纯水通过膜的另一侧。然后得到的水是高纯水。

离子交换技术：离子交换是通过树脂去除水中离子的一种方法。高纯水设备中，离子交换树脂起着去除水中离子的作用。该树脂选择性强，能吸附水中的阳离子和阴离子，并释放等量的H+和OH—离子，使水中的离子被去除。在树脂饱和后，需要进行再生操作，以洗去吸附的离子并恢复树脂的吸附能力。

如果同时使用反渗透和离子交换技术，高纯水设备可以有效去除水中的杂质、溶解性固体、溶解性盐类、有机物、和微生物，生产出高纯水。电话和数据系统），这种水质通常具有较低的电导率和总溶解固体，非常适合于各种需要高纯水的应用，如实验室、制药、电子制造、食品加工等。