电镀过程中可能出现严重污染。为了解决上述问题，开发了超纯水设备。超纯水主要用于镀前处理。镀前处理是指将电镀废水经过预处理、软化、反渗透后，再进行电解或酸洗等工序对废水中的有机物和胶体进行去除，以达到电镀目的（即电镀层对金属的电阻率要求）；镀后处理则是指将电镀废水中的有机污染物及胶体物质进行彻底的分解转化并排出电镀废水中，以达到废水综合利用；酸洗工艺主要是去除各种盐类以及各种有机物质、重金属等元素。

EDI纯水设备是一种新型的水处理设备，它可以有效去除水中的杂质，同时保留了水中的微量元素，使其成为了真正意义上的纯水。EDI纯水设备可以广泛应用于各个领域：工业用水、生活用水、汽车和机械等行业，并且能够有效去除水中各种污染物，例如细菌、病毒、胶体、有机物等。EDI纯水设备适用于工业用水，饮用纯净水处理，工业废水处理。EDI技术是通过化学方法把水分子活化和分解成单分子和离子，同时利用电渗析、反渗透等技术把水中的大分子杂质去除到纯水中； EDI设备还能有效去除水中细菌和病毒等污染物。EDI纯水设备主要由纯水机、 RO反渗透膜装置、超纯水制备装置组成。

单晶硅与多晶硅必须使用超纯水经过严格的清洗，使其材料的性能比其它的好，有污染可能会导致性能变差。单晶硅与多晶硅使用超纯水的目的在于清洗掉表面污染的杂质，包括其中的有机物、无机物和其它离子，如果不适用超纯水清洗，可能会引起漏电，导致各种性能的缺陷，所以清洗单晶硅和多晶硅、光伏电池板必须用超纯水，目前制取超纯水工艺可分为反渗透设备和反渗透+EDI超纯水设备，这是两种制取超纯水设备常用的工艺。 单晶硅和多晶硅对水质的要求很高，电阻率达18兆以上。

纯水设备的处理滤芯种类很多，在工业纯水处理中，一般来说采用反渗透、EDI等过滤。这几种纯水处理可以满足大部分用户的用水需求。活性炭滤芯：这种滤芯是由果皮、果核、木炭、煤等主要的原材料，经过高温处理，从而组合成活性炭，活性炭滤芯可以有效的阻挡杂志、细菌、病毒、化工等污染物，不过这种滤芯在生活用水和市政用水的情况较多，工业上用作污水处理的较多。