在半导体超纯水设备的质量标准中分为"五级标准"它们分别是（18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五级标准）。从上面的角度来说，超纯水一般没有统一的标准，都是根据用户的需求来规定的。目前水质要求很高的还是半导体、芯片、光伏光电等行业。
半导体超纯水系统在工业水处理系统中很常见，设备的组成由材料，精密系统，包括很多运行设备，可以说，半导体超纯水设备过程在众多设备系统中是较为复杂的。
如今，半导体在中国作为高新技术产业，很多地方得到了国家的大力扶持，但想要半导体、芯片等质量得到保证，就避免不了超纯水设备的使用和发展。
半导体超纯水的水质标准中主要依据有：
1.微电子工艺对水质的要求；
2.制水工艺的水平；
3.检测技术的现状。
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