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半导体EDI纯水设备要求(半导体EDI纯设备介绍)
时间:2023-03-17 作者:
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半导体EDI纯水设备要求:

半导体行业是一种极为特殊的行业,其对纯水质量的要求极高,因此半导体EDI纯水设备要求也相应提高,主要包括以下几个方面:

高效率:能够快速产生纯水,其产水能力要达到设计水平。

高净度:其净度要达到18.2MΩ.cm以上。

高稳定性:稳定性要求高,其pH值要在6.5-7.5之间,电导率要在1-3μS/cm之间。

高自动化:能在不需要人工干预的情况下自动完成操作,降低了操作难度和维护成本。

半导体EDI纯水设备介绍:

半导体EDI纯水设备主要由预处理系统、反渗透系统和EDI系统组成。

预处理系统:预处理系统主要是对进水进行处理,去除其中的杂质,如悬浮物、有机物等,其通常包括过滤器、软水器、活性炭过滤器等。

反渗透系统:反渗透系统是半导体纯水处理设备中的重要组成部分,其利用高压力将进水逆渗透过滤,去除其中的溶解物质。

EDI系统:EDI系统是半导体EDI纯水设备的核心部分,其利用离子交换膜和电极将溶解物质中的离子去除,从而达到纯水的目的。

半导体EDI纯水设备的优点:

高纯度:能够满足半导体行业对纯水质量的高要求。

低成本:能够为半导体行业带来更高的经济效益。

高稳定性:其产出的纯水能够保持稳定的pH值、电导率等。

高自动化:可以实现自动控制和运行,降低了操作难度和维护成本。

总之,半导体EDI纯水设备能够为半导体行业提供高质量、高效率的纯水,是现代半导体制造的必要条件之一。


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